UV光固化工藝

現(xiàn)代半導(dǎo)體材料的發(fā)展方向?yàn)榇笠?guī)格、高精度、高效率和低成本等,這就對傳統(tǒng)半導(dǎo)體硬脆材料加工工具提出了新的挑戰(zhàn)。本文在UV光固化磨具研究基礎(chǔ)上,以UV光固化樹脂作為金剛石線鋸結(jié)合劑為技術(shù)實(shí)現(xiàn)目標(biāo),在材料性能、結(jié)合強(qiáng)度、涂覆固化工藝及加工性能等方面,對紫外光固化金剛石線鋸制造技術(shù)進(jìn)行了研究。
　　研究了UV光固化線鋸樹脂結(jié)合劑的機(jī)械物理性能。根據(jù)線鋸加工工況對結(jié)合劑性能的技術(shù)要求,提出了光固化線鋸樹脂結(jié)合劑材料性能的選擇原則。據(jù)此原則,通過對光固化樹脂進(jìn)行機(jī)械物理性能測試實(shí)驗(yàn)及綜合評價(jià),確定了符合光固化線鋸制造技術(shù)要求的光固化樹脂品種類型。
　　研究了芯線材料及其界面結(jié)合性能。分析了線鋸實(shí)際工作對材料強(qiáng)度性能的技術(shù)要求,確定了光固化線鋸芯線的材料及種類。根據(jù)金屬芯線與非金屬芯線不同材料特性,分別實(shí)驗(yàn)研究了提高UV光固化樹脂與芯線界面結(jié)合強(qiáng)度的表面處理措施及工藝條件。
　　研究了金剛石在結(jié)合劑中的固位機(jī)理。建立了UV光固化樹脂對金剛石機(jī)械包鑲的力學(xué)模型及表征樹脂包鑲金剛石能力的拉伸法實(shí)驗(yàn)評價(jià)模型。依據(jù)粘接理論,實(shí)驗(yàn)研究了提高光固化線鋸金剛石包鑲固位能力的措施。
　　研究了線鋸?fù)扛才cUV光固化工藝。根據(jù)UV光固化線鋸的制造工藝特點(diǎn),制訂了UV光固化線鋸的制造工藝流程,研制了線鋸?fù)扛补袒瘷C(jī),并對光固化線鋸?fù)扛才c固化工藝的質(zhì)量控制進(jìn)行了研究。
　　研究了UV光固化線鋸磨損失效機(jī)理及加工性能。在分析UV光固化線鋸磨損與失效形式的基礎(chǔ)上,研究了影響其磨損失效的因素及機(jī)理,并確立了UV光固化線鋸加工性能的評價(jià)方法。對光固化樹脂單體改性及非金屬芯線預(yù)張拉技術(shù)改善線鋸性能的工藝進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究,并對UV光固化線鋸與商品化的電鍍線鋸進(jìn)行了加工性能的對比與評價(jià)。

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